地震檢波器的應用對我們有很大幫助，下面就來給大家介紹一下電容式地震檢波器和MEMS地震檢波器。
電容式地震檢波器是根據(jù)兩極板之間的距離、相互覆蓋的面積、介電系數(shù)變化引起電容改變來設計的。與單電容地震檢波器相比，差動電容地震檢波器的靈敏度提高了一倍，相對非線性誤差大大減小。由于模擬差動電容式檢波器輸出信號易受電磁信號干擾，已經逐漸被數(shù)字式差動電容檢波器取代。MEMS數(shù)字檢波器其中核心部件就是差動電容式地震檢波器。
MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)檢波器是目前性能較好的三分量數(shù)字地震檢波器，是以硅材料為基底，采用MEMS技術，即微電子機械系統(tǒng)技術加工的差動電容式地震檢波器。
21世紀初國外推出的VectorSeis系列和DSU系列數(shù)字地震檢波器都是基于MEMS技術設計的微電子機械數(shù)字傳感系統(tǒng)。MEMS地震檢波器結構精巧，靈敏度比動圈式地震檢波器高，動態(tài)范圍較大，同時實現(xiàn)了檢波器的數(shù)字化，抗干擾能力強。該類型地震檢波器在實驗室研制的性能效果較好，但是加工工藝為先進的MEMS技術，成本較高，在地震勘探過程中通常會使用幾十甚至幾百個檢波器，因此將該類型檢波器投入大型地震勘探生產實踐還有一定的難度。
以上就是關于電容式地震檢波器和MEMS地震檢波器的介紹，希望對大家有所幫助。
